安捷倫真空計(jì) 571 B-A
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摘要
安捷倫真空計(jì) 571 B-A 是高精度真空測(cè)量設(shè)備，適配寬量程真空環(huán)境，響應(yīng)迅速、數(shù)據(jù)穩(wěn)定，支持多種接口適配各類真空系統(tǒng)，兼具耐用性與易操作性，是科研、半導(dǎo)體制造等場(chǎng)景的可靠真空監(jiān)測(cè)方案，助力把控真空工藝。
產(chǎn)品介紹
安捷倫真空計(jì) 571 B-A
571 B-A 型規(guī)管
B-A 型熱陰極電離規(guī)管采用加熱燈絲作為電子源。Agilent 571 B-A 型標(biāo)準(zhǔn)量程電離規(guī)管可以在 2 x 10 -10 至 1 x 10 -3 torr 的真空范圍內(nèi)提供出色的性能。571 規(guī)能在工作溫度下承受長(zhǎng)時(shí)間的脫氣或意外暴露于大氣中，仍可恢復(fù)原始特性。此外，還提供在低于 5 x 10 -6 torr 真空下校準(zhǔn)規(guī)，用于測(cè)試真空計(jì)控制器。
安捷倫真空計(jì) 571 B-A 核心介紹
應(yīng)用場(chǎng)景：適配超高真空環(huán)境監(jiān)測(cè)，廣泛用于半導(dǎo)體制造、科研實(shí)驗(yàn)裝置、真空鍍膜等場(chǎng)景，可匹配真空系統(tǒng)的壓力監(jiān)控需求。
核心技術(shù)：采用 Bayard-Alpert 電離規(guī)管設(shè)計(jì)，搭載氧化釔涂層銥燈絲，兼具抗氧化性與耐用性，支持與真空控制器配套使用，還提供密封參考規(guī)版本用于設(shè)備測(cè)試。
性能優(yōu)勢(shì)：測(cè)量量程覆蓋 2×10?¹?至 1×10?³ 托（約 2.6×10?¹?至 1.33×10?³ 毫巴），高 X 射線極限確保低壓力下讀數(shù)。可耐受長(zhǎng)時(shí)間除氣或工作溫度下的大氣暴露，且能恢復(fù)原始性能，穩(wěn)定性突出。
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