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普發(fā)真空(Pfeiffer Vacuum)ATH 4506M 磁懸浮渦輪分子泵

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摘要

德國普發(fā)真空 ATH 4506M 磁懸浮渦輪分子泵,搭載混合磁懸浮技術(shù),無機械接觸磨損,振動與噪音。具備抽速與 10?1?mbar 級極限真空,集成智能控制器與多接口設計,安裝便捷且支持遠程操控。無油潔凈抽氣確保,維護成本低、壽命長久,適配實驗室、分析儀器、化工檢漏等多領(lǐng)域,是真空應用的可靠之選。

產(chǎn)品介紹

普發(fā)真空(Pfeiffer VacuumATH 4506M 磁懸浮渦輪分子泵。

它屬于渦輪分子泵品類,采用磁懸浮軸承技術(shù),具備高抽速、低振動、免維護的特性,可實現(xiàn)超高真空環(huán)境,廣泛應用于半導體制造、科學研究等對真空度要求極高的領(lǐng)域。

普發(fā)分子泵

普發(fā)真空 ATH 4506 渦輪分子泵的抽速曲線。

圖中展示了該泵對不同氣體(N?、Ar、He、H?)在不同入口壓力(p,單位 hPa)下的抽速(l/s)變化關(guān)系,是體現(xiàn)其抽氣能力隨壓力和氣體種類變化的核心性能曲線之一。


普發(fā)分子泵

渦輪分子泵的外形尺寸圖紙。

圖中展示了該泵的兩個不同視角的輪廓與尺寸標注(包含直徑 “Ø” 和長度 “T” 等參數(shù)),用于指導泵的安裝、適配設備腔體的空間布局等工程應用場景,屬于真空設備(渦輪分子泵)的機械設計圖紙范疇。

普發(fā)分子泵

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